Для цитирования:

Чепкасов С.Ю., Золкин А.С., Пилипцов Д.Г., Гладких Е.В., Кравчук К.С. ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРЫ И МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ПЛЕНОК ТЕТРАЭДРАЛЬНОГО АМОРФНОГО УГЛЕРОДА, ОСАЖДЕННЫХ ПРИ РАЗЛИЧНЫХ РАССТОЯНИЯХ. Сибирский физический журнал. 2018;13(3):55-60. https://doi.org/10.25205/2541-9447-2018-13-3-55-60

For citation:

Chepkasov S.Yu., Zolkin A.S., Piliptsov D.G., Gladkikh E.V., Kravchuk K.S. STUDY OF STRUCTURE AND MECHANICAL PROPERTIES OF TETRAHEDRAL AMORPHOUS CARBON FILMS DEPOSITED AT VARIOUS DISTANCES BETWEEN THE SOURCE AND THE SUBSTRATE. SIBERIAN JOURNAL OF PHYSICS. 2018;13(3):55-60. (In Russ.) https://doi.org/10.25205/2541-9447-2018-13-3-55-60